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マスフローメータ・マスフローコントローラ／
MF1100B

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スペックシート（第3版）

MF1100Bシリーズは、高性能・低価格を実現したマスフローメータ・マスフローコントローラです。 流量レンジは、5 SCCM～20 SLMまで15レンジを揃えていますので、分析用から工業用まで手軽にご使用いただけます。
特長

■高信頼性
内部回路の集積化により信頼性とコンパクト化を図りました。

■高い互換性
弊社のMF5100Bシリーズと同じ配管接続材、電源、設定器が使用できます。

■豊富な周辺機器
周辺機器として、指示計、設定器、電源、コネクタ付きケーブル等を用意しています。

仕様
機種マスフローメータマスフローコントローラ
標準レンジ低価格品汎用品低価格品汎用品
制御範囲MF1121BMF1111BMF1171B（NC）
MF1181B（NO）		MF1141B（NC）
MF1151B（NO）
精度定格0～5　SCCM 0～100 SCCM 0～2 SLM
0～10　〃 0～200　〃 0～3　〃
0～20　〃 0～300　〃 0～5　〃
0～30　〃 0～500　〃 0～10　〃
0～50　〃 0～1,000　〃 0～20　〃		0.1～5 SCCM 2～100 SCCM 0.04～2 SLM
0.2～10　〃 4～200 　 〃 0.06～3 〃
0.4～20　〃 6～300　　〃 0.1～5 　〃
0.6～30　〃 10～500　 〃 0.2～10 〃
1.0～50　〃 20～1,000 〃 0.4～20 〃
制御範囲－2～100%F.S
精度定格±2%FS以下±1.5%FS以下±2%FS以下±1.5%FS以下
直線性±1%FS以下±0.7%FS以下±1%FS以下±0.7%FS以下
再現性±0.2%FS以下±0.2%FS以下±0.2%FS以下±0.2%FS以下
応答時間出力電圧が設定値の±2%F.S.以内への収束時間約3秒以内
最高動作圧力1.0MPa
耐圧1.5MPa
圧力損失5.0kPa
動作差圧－5SCCM～5SLM ： 34～275kPa
10～20SLM ： 69～275kPa
流量設定－0～5V DC0～5V DC（標準）
1～5V DC（オプション）
出力信号0～5V DC0～5V DC（標準）
1～5V DC（オプション）
使用温度範囲5～45℃（ガス温度も同じ）
取付姿勢誤差±0.5%FS以下（取り付け姿勢は自由）
リーク規格1.013×10-9・m3/s(He)以下（標準）
配管接続1/4 スウェージロック（標準），　　VCR（オプション）
接ガス部材質SUS316，フッ素ゴムSUS316，フッ素ゴム，フッ素樹脂
質量約680g約800g
消費電力1VA以下3VA以下
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