製品詳細

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マスフローメータ・マスフローコントローラ/
MF1100B

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スペックシート

MF1100Bシリーズは、高性能・低価格を実現したマスフローメータ・マスフローコントローラです。 流量レンジは、5 SCCM~20 SLMまで15レンジを揃えていますので、分析用から工業用まで手軽にご使用いただけます。
特徴

■高信頼性
内部回路の集積化により信頼性とコンパクト化を図りました。

■高い互換性
弊社のMF5100Bシリーズと同じ配管接続材、電源、設定器が使用できます。

■豊富な周辺機器
周辺機器として、指示計、設定器、電源、コネクタ付きケーブル等を用意しています。

仕様
機種マスフローメータマスフローコントローラ
標準レンジ低価格品汎用品低価格品汎用品
制御範囲MF1121BMF1111BMF1171B(NC)
MF1181B(NO)
MF1141B(NC)
MF1151B(NO)
精度定格0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM
0~10 〃 0~200 〃 0~3 〃
0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃
0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃
0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃
0.1~5 SCCM 2~100 SCCM 0.04~2 SLM
0.2~10 〃 4~200   〃 0.06~3 〃
0.4~20 〃 6~300  〃 0.1~5  〃
0.6~30 〃 10~500  〃 0.2~10 〃
1.0~50 〃 20~1,000 〃 0.4~20 〃
制御範囲2~100%F.S
精度定格±2%F.S.以下±1.5%F.S.以下±2%F.S.以下±1.5%F.S.以下
直線性±1%F.S.以下±0.7%F.S.以下±1%F.S.以下±0.7%F.S.以下
再現性±0.2%F.S.以下±0.2%F.S.以下±0.2%F.S.以下±0.2%F.S.以下
応答時間出力電圧が設定値の±2%F.S.以内への収束時間約3秒以内
最高動作圧力1.0MPa
耐圧1.5MPa
圧力損失5.0kPa
動作差圧5SCCM~5SLM : 34~275kPa
10~20SLM : 69~275kPa
流量設定0~5V DC0~5V DC(標準)
1~5V DC(オプション)
出力信号0~5V DC0~5V DC(標準)
1~5V DC(オプション)
使用温度範囲5~45℃(ガス温度も同じ)
取付姿勢誤差±0.5%F.S.以下(取り付け姿勢は自由)
リーク規格1.013×10-9・m3/s(He)以下(標準)
配管接続1/4 スウェージロック(標準),  VCR(オプション)
接ガス部材質SUS316,フッ素ゴムSUS316,フッ素ゴム,フッ素樹脂
質量約680g約800g
消費電力1VA以下3VA以下