製品詳細

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マスフローメータ・マスフローコントローラ/
MF5100B

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スペックシート

MF5100Bシリーズは、大幅な流量レンジ、高温度安定度、3種のモードを持つソフトスタート機能等、使いやすさと高性能を両立したマスフローメータ・マスフローコントローラです。
特徴

■幅広い流量レンジ
流量レンジは最小5SCCMから、最大400SLMまで豊富に取り揃えています。

■高信頼性
各回路の集積化・機械系の最適化を図り、小型でありながら、高い信頼性を達成しています。

■ソフトスタート機能
本体内蔵のソフトスタート機能は、直線的な立ち上がりで、時間調整が可能(最大70秒)、3種のモード(設定変更時、電源投入時、外部バルブ閉→開時)で動作します。

■高安定度
温度安定度は0.05%/℃、リーク規格は、1×10-10Pa・m3/s(He)まで可能です。

※仕様はスペックシートを参照