製品詳細

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横型拡散炉/
DF1000

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スペックシート

横型拡散炉は、半導体製造プロセスの一環である熱処理を行うシステムです。 構造はヒータチャンバを水平に取付、2~4段積み重ね縦方向のスペースを有効活用しています。 熱処理の種類は、拡散、酸化等あり処理温度も低温~高温まで、自社製高性能コントローラを使用し幅広いプロセスに対応します。
特徴

■均熱特性の向上
使用温度に合わせたヒータと自社製高性能コントローラとの組合せにより"安定した温度制御と均熱長を可能にしています。

■100~200mmウェーハに対応
拡散炉システムはφ100mmからφ200mmまで、御客様のご要望に応える拡散炉です。

■容易なメンテナンス性
熱電対やヒータ交換は、他のヒータが昇温中でも安全に交換できる構造です。

■コストパフォーマンス
使用部品の選定、無駄のない構造による低価格を実現しています。

■リニューアルに対応
外形寸法を最小限に抑え、古く限られたスペースのシステムのリニューアルにも対応致します。

仕様
ウェーハサイズ~φ200mm~φ150mm~φ125mm~φ100mm
炉体寸法
*1
W 2650mm×
D 1200mm×
H 2580mm
W 2300mm×
D 850mm×
H 2395mm
W 2180mm×
D 850mm×
H 2395mm
W 1850mm×
D 700mm×
H 2150mm
均熱長
*2
900mm±1.0℃
(No.GAS)
900mm±1.0℃
(No.GAS)
800mm±1.0℃
(No.GAS)
800mm±1.0℃
(No.GAS)
温度範囲600~1200℃600~1200℃600~1200℃600~1200℃
温度制御3Zone独立制御3Zone独立制御 3Zone独立制御3Zone独立制御
搬送系(オプション)ソフトローダ
ボートエレベータ
ソフトローダ
ボートエレベータ
ボートローダ
ソフトローダ
ボートエレベータ
ボートローダ
ボートローダ