製品詳細

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インライン移載機/

本装置は、インライン型のウェハ移載機、コントロール部からなる横型炉用インライン型ウェハ搬送装置です。 ロングボートを使用することにより作業効率の向上、パーティクルの削減、作業ミスの削減を行います。
特徴

■省スペース設計
全長3000mmのコンパクト化を実現。

■カラータッチパネル採用
タッチパネルによる操作性に、カラー表示で表現力,見やすさがアップしました。

■ウェハ25枚の移載が可能
25枚(1キャリア分)ウェハを1回の動作で移載する事で、移載時間が短縮されます。

■最大7キャリア(175枚)の移載が可能
150枚バッチ処理に対応します。

■ウェハに負荷が加わらないホルダー機構
チャック部に加負荷保護機構を採用し、万一の時もウェハの破損を防ぐ事ができます。

■使用ボート毎の伸びに対応した微調整機能
ボート上での移載ミスを低減できます。

■ボートのチャック位置決め性向上
ガイドスペーサによりボートの四隅を支持する事で、チャック時の位置決め性が向上し、歪んだボートでも対応が可能。

■各ボートの使用時間を自動積算(拡散炉での熱処理時間を自動積算)
ボートの洗浄や交換時期を確認できます。
(AUTO運転、拡散コントローラ(MC)含めた連動時のみ)

■各種インターロックにより、ウェハの破損を回避
各部動作監視の強化により、安全性をアップしました。