製品詳細

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ボートローダ/

横型拡散炉において、治具をボートに接続し、挿入、引き出しを自動で行うローディング装置となります。
特徴

■各種対応
弊社以外の炉体へも接続対応可能

■対応ウェハ
4インチ~8インチまで対応可能

■連動対応
インライン移載機、ソフトローダ、拡散炉コントローラと連動して運用可能