製品詳細

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ボートエレベータ/

ウェハ移載機と、ソフトランディング装置またはボートローダ間で、ボートの乗せかえを行う装置です。 クリンベンチ側より、炉口スカベンジャに向かってエレベータ本体の左側に炉口がある装置をLタイプ、右側に炉口がある装置をRタイプがあります。
特徴

■対応重量
最大10kgまで対応可能

■対応ウェハ
4インチ~8インチまで対応可能

■連動対応
インライン移載機、ソフトローダ、拡散炉コントローラと連動して運用可能