製品詳細

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マニュアル移載機/

横型拡散炉において、治具をボートに接続し、挿入、引き出しを自動で行うローディング装置となります。
特徴

■移載時間の短縮
2キャリア同時にオリエンテーションをそろえることにより移載時間を大幅に短縮

■モード選択
モード選択により25枚と50枚の移載が可能

■誤操作防止
各種インターロック機能により誤操作を防止

■ウェーハ倒れ防止
PUSHERのウェーハ挟持機構によりウェーハ倒れを防止

■省スペース
キャリアストレージにより省スペースと良好な作業を実現