製品詳細

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高性能マイクロバルブ /
MV

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スペックシート

ガス分析・制御装置、液体の精密制御等の取扱いに最適な高性能マイクロバルブです。 微少流量を十分な解能と再現性で調整することができます。
特徴

■幅広い調整範囲
調節できる流量調整範囲は最低5SCCMから6000SCCMまで選択可能です。

■高い安定性
ニードルを直線運動にしたので、再現性がよくヒステリシスがありません。
圧力の急激な変動、振動などがあっても開度の変動がありません。

■保守管理
ニードルとオリフィスボディは完全互換性があり保守が容易です。
グリスなどは一切使用しておりません。

仕様
形式MV□1MV□2
材質黄銅製ステンレス製
最高使用温度80℃110℃
最大使用圧力980kPa
開度14回転(目盛表示) 同左
質量約170g