製品詳細

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金属ダイヤフラム減圧弁/
RD2210A

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スペックシート

ドーピング、エピタキシャルなどの半導体工業用、各種化学分析用、特殊ガス、高純度ガス、腐食性ガス用等にご使用いただける金属ダイヤフラム減圧弁です。
特徴

■クリーンな部材
ダイヤフラムは本体と金属接合シールされ、全品Heリークチェック、禁油禁水、洗浄処理品です。

■高い汎用性
高圧用、低圧用で、全8種類があり、パネルマウント、ボトムマウントがそれぞれ可能です。

仕様
項目高圧用
RD210A1□1□
低圧用
RD210A4□2□
耐圧Max 24.5MPaMax 2.94MPa
使用一次圧Max 14.7MPaMax 2MPa
設定圧力レンジ171.6kPa
343kPa
686kPa
1372kPa
2059kPa
171.6kPa
343kPa
686kPa
有効オリフィスφ0.7φ2
CV値0.0150.1
一次圧特性※10.5%
※1 一次圧特性 (設定圧変動幅/一次圧変動幅)×100の値(10l/min時)
1.3%
※1 一次圧特性 (設定圧変動幅/一次圧変動幅)×100の値(10l/min時)
再現性±0.98kPa
ヒステリシス±3.92kPa
外部リーク1.013×10-10Pa・m3/s(He)以下
内部リーク1.013×10-8Pa・m3/s(He)以下
接流体部材質SUS316,SUS316L,PCTFE
使用温度範囲-10~80℃
ポート60°IN×2 OUT×290°IN×1 OUT×2
接続口
( 接続 VCR)
1/4NPT
Rc1/4
VCR1/4GR ※2
※2 VCRはSwagelok Companyの登録商標です。
質量920g
パネルカットφ33