大倉電気は急速な技術革新が進む中、培ってきた技術をベースに高品質で信頼性のある製品を提供し、豊かな社会の実現に向け貢献していきます。

●フットプリント(4段炉の標準寸法)
4インチ:W1850×D700×H2150
5インチ:W2180×D850×H2395
6インチ:W2300×D850×H2395
8インチ:W2650×D1200×H2580
●4~8インチウェハ対応

●昇温レート100°C、降温レート50°C
●小型省フットプリント
　(W900×H2200×D1980)
●ミニバッチ対応
●4~8インチウェハ対応

●装置高さ2600mm
●小型省フットプリント
　(W900×H2600×D1280)
●4~8インチウェハ対応
●高温(1300°C)対応