■均热性提高
通过将与使用温度相应的加热器和本公司生产的高性能控制器结合使用，实现更加稳定的温度控制和均热长度。
■支持100-200mm晶圆
扩散炉系统直径为φ100mm-φ200mm，可以根据客户的要求提供合适的扩散炉。
■简单的维护性
即使其他加热器正在升温，也可安全更换热电偶以及加热器。
■性价比
精选所用部件，采用实用结构，实现低价格。
■支持翻新
外形尺寸已控制到最小，因此也能用于更新老旧且空间有限的系统。
| 晶圆尺寸 | ～φ200mm | ～φ150mm | ～φ125mm | ～φ100mm |
|---|---|---|---|---|
| 炉身尺寸 *1 | W 2650mm× D 1200mm× H 2580mm | W 2300mm× D 850mm× H 2395mm | W 2180mm× D 850mm× H 2395mm | W 1850mm× D 700mm× H 2150mm |
| 均热长度 ＊2 | 900mm±1.0℃ （No.GAS） | 900mm±1.0℃ （No.GAS） | 800mm±1.0℃ （No.GAS） | 800mm±1.0℃ （No.GAS） |
| 温度范围 | 600～1200℃ | 600～1200℃ | 600～1200℃ | 600～1200℃ |
| 温度控制 | 3Zone独立控制 | 3Zone独立控制 | 3Zone独立控制 | 3Zone独立控制 |
| 运输类（选购项） | 晶舟电梯 软件加载器 | 软件加载器 晶舟电梯 软件加载器 | 软件加载器 晶舟电梯 晶舟加载器、软件加载器 | 晶舟加载器 |
电话咨询请拨打以下号码
产品价格及交货时间咨询
接待时间 9:30～17:00
