积极开展技术革新，充分运用技术成果，为客户提供高质量可信赖的产品，为实现丰富多彩的社会贡献力量。

特点

■可高速升降温（支持FTP）
通过采用立式电阻加热方式的独特加热器，可进行高速升温、高速降温，仅需1台即可完成高速升降温处理以及通常处理。

■本公司自主研发的晶圆转移系统
通过使用本公司自主研发的晶圆转移系统，实现驱动部的高可靠性。

■搭载节距变换设备
可将晶舟侧沟节距变换为任意节距从而转移晶圆。（设定范围4.76-9.52mm）晶圆的搬运以片盒到片盒的方式进行。

■重视生产率和操作性的装置
操作部采用带有触摸屏的TFT面板，生产率和操作性均十分出众。

■晶圆可低温入炉
晶圆可低温入炉。显著降低了大气夹带的影响。

■可以安全轻松地拆装反应管
利用自动升降机，可以更加安全轻松地拆装反应管。

■独有的温度控制系统
在加热器及温度控制系统中采用了独有的方式，显著提高温度恢复特性。

■可维护性
设计合理，即使安装多台，也不会降低可维护性和操作性。